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大气洁净机械手臂

4轴水平多关节型洁净机械手臂

GCR4000-PMSERIES

超洁净无尘间用多轴,4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4000-PM系列(步进电机规格)
适用于300 mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

特点

    拥有适应各种不同设备布局的优点,使用了成本优势明显的步进电机

  • 机械手臂标准臂长:210 mm
  • 机械手臂可以单独对应2个FOUP
  • Z轴(升降轴)标准长度:300 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准3 kgf以下
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的2相步进电机
  • 通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • Offset动作比GHR4000类型机械手臂快1.4倍
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

EFEM;AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应GCR4210-300-PM
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
400 mm 335度 300 mm
搬运速度 (平均速度)* 730 mm/sec 280度/sec 200 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 1100 mm/sec 400度/sec 250 mm/sec
精度* 0.0055度 0.0025度 6.25 µm
搬运高度* 620 mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 15A
真空:优于-53 kPa

*测试机型:GCR4210-300-PM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。