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真空洁净机械手臂

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

GTVHR5000SERIES

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVHR5000系列
能够适应于多种设备布局
通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积
简单小型化的真空腔体能够为客户节约加工成本
能够对应平行摆放的Stage(非常适合inline设备)

特点

    拥有适应各种不同真空设备布局优点的高性能真空洁净机械手臂

  • 机械手臂标准臂长:281mm,330 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:60 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封装置以及波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
  • 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
  • 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

应用设备实例

高温PVD设备;刻蚀设备等

演示展示机型
  • 图片、视频为对应GTVHR5330-060-AM
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
660 mm 330度 60 mm
搬运速度 (平均速度)* 630 mm/sec 135度/sec 60 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 950 mm/sec 200度/sec 85 mm/sec
精度* 手臂1:0.00318度
手臂2:0.00318度
0.00020度 0.244 µm
搬运高度* 219mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置
耐真空度 1.33x10-6Pa
厂务 电源:単相AC200V±10% 2kVA

*测试机型:GTVHR5330-060-AM中的具有代表性的标准品 (被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。