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小尺寸晶圆自动装卸载系统

2轴圆柱坐标型洁净机械手臂(适合小尺寸晶圆)

SSCR2090S

超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR2090S系列
适用于半导体生产设备内部,检测设备等小尺寸晶圆的搬运,通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于实现设备的小型化。

特点

    可在工作台上使用的小型机械手臂

  • 同SSCR3115N-150-PM兼容,连杆式手臂,可以增加Z轴模块
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准0.1kgf以下(只包含被搬运物)
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴使用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

检测设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应SSCR2090S-PM
规格
被搬运物 〜100 mm晶圆
  手臂 旋转
可动范围*
(晶圆中心基准)
300 mm
(连杆式手臂)
360度
搬运速度 (平均速度)* 260 mm/sec 240度/sec
搬运速度 (最大速度)* 390 mm/sec 300度/sec
精度* 32.2 µm以下 0.01023度
搬运高度* 238 mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 4A
真空:优于-53 kPa

*测试机型:SSCR2090S,连杆式手臂,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。