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大气洁净机械手臂

安装5片间距可调手指的洁净机械手臂

MTCR4160L

特点

    可用于如立式炉等间距不同片盒间的高速搬运

  • 非常适合PassLine较低、升降轴行程较长的设备
  • 通过采用底座圆柱型驱动机构实现了机械手臂±160度的旋转范围,提升了设备布局的灵活性
  • 可在5 mm~10 mm范围内任意调节手指间的距离

应用设备实例

立式炉设备,清洗机

演示展示机型
  • 图片、视频为对应MTCR4160L-700-AM (5片间距可调手指规格)
规格
被搬运物 300 mm硅片晶圆
晶圆吸附方式 下托式的粗定位方式
可动范围 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
710 mm ±160度 700 mm
搬运速度 (*1) 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
415 mm/1.5sec 160度/1.5sec 700 mm/2.0sec
重复性精度 ±0.1mm
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:AC200V±10%

*测试机型:MTCR4160L-700-AM.
(*1) 晶圆固定方式采用了下托式的粗定位方式,搬运速度也进行了相应的调整。
       另外还可选择真空吸附等其他的晶圆固定方式,相关规格等事宜敬请咨询我司。

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。