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大气洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

TSCR3060N(2寸晶圆)

适用于300 mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

特点

    有利于搬运模块的小型化

  • 业内最小尺寸设计,有利于设备的小型化
  • 相对我司标准大气机械手臂:占地面减小75%(方形115x130 mm),体积减小80%
  • 通过选取不同长度的手臂,可以对应任意距离的工位

应用设备实例

EFEM,PE-CVD设备,AOI设备,LED生产设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应TSCR3060N-135-PM, TSVCR3060N-020-PM, SAL1021
规格
被搬运物 2寸硅片晶圆
晶圆吸附方式 真空吸附式
可动范围 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
±119mm 360度 135 mm
搬运速度 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
230 mm/sec 450度/sec 170 mm/sec
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 4A
真空: 优于-70kPa
重量 大约 4 kg

*测试机型:TSCR3060N-135-PM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。