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真空洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂

TSVCR3060N(2寸晶圆)

适用于真空腔室内的晶圆搬运

特点

    有利于真空传输腔的小型化

  • 业内最小尺寸设计,有利于实现设备的小型化
  • 相对我司标准真空机械手臂:占地面减小65%(直径95 mm),体积减小75%
  • 通过选取不同长度的手臂,可以对应任意距离的工位

应用设备实例

检测设备,PE-CVD设备,LED生产设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应 TSCR3060N-135-PM, TSVCR3060N-020-PM, SAL1021
规格
被搬运物 2寸硅片晶圆
晶圆固定方式 下托式的粗定位方式
可动范围 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
±119 mm 360度 20 mm
搬运速度 手臂(R轴) 旋转(θ轴) 升降(Z轴)
230 mm/sec 450度/sec 40 mm/sec
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置
耐真空度 1.33×10-6Pa
厂务 电源:DC24V±10% 4A

*测试机型:TSVCR3060N-020-PM

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。