产品展示

  1. 网站首页
  2. 产品展示
  3. 大气洁净机械手臂
  4. GCR4210-AM(配备手指旋转功能模块)

产品展示

大气洁净机械手臂

4轴水平多关节型洁净机械手臂(配备手指旋转功能模块)

GCR4210-AM

超洁净无尘间用多轴,4轴水平多关节型机械手臂GCR4210-AM(伺服电机规格)
手指旋转功能模块能够缩短传片所需时间 。

特点

    超清洁室用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手臂。
    适用于支持300 mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运。
    通过在手指上增加旋转功能模块,单手臂结构的机械手臂也可以同时安装两片手指,并在片盒或者工位附近完成晶圆的更换动作。
    由于机械手臂的手臂轴不再需要缩回到原点位置,能够有效地缩短传片时间,提高传片效率。

  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准4 kgf以下
  • Z轴(升降轴)标准长度:300 mm
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配2相步进电机规格

应用设备实例

AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应GCR4210-AM(配备手指旋转功能模块)
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
400 mm 335 度 300 mm
腕部模块旋转角度
±180 度
搬运速度* 430 mm/0.8 sec 335 度/1.0 sec 300 mm/0.9 sec
精度* 第1关节轴 第2关节轴 第3关节轴
0.0015 度 0.0018 度 0.0018 度
Z轴  
1.96 µm  
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V ±10% 2 kVA
真空:优于-53 kPa
质量 机械手臂体 大约37 kg

*测试机型:GCR4210-300-AM(配备手指旋转功能模块)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。