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大气洁净机械手臂

4轴圆柱坐标型双臂洁净机械手臂(胶膜框架搬运)

MTCR4160SERIES

超洁净无尘间用300 mm晶圆对应MTCR4160
可实现TapeFrame片盒内各层位置的随机取放动作。

特点

    高精度搬运 Tape Frame。
    挟持 Tape Frame的根部,在片盒内部区域没有接触,可实现标准层间距 Tape Frame片盒各层的随机取放。
    可对应包括300mm晶圆规格的各种 Tape Frame。
    采用 MECHATROLINK-III,可以实时监控设备的运行状态

  • 机械手臂标准臂长:160 mm,200 mm,240 mm,280 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:300 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准5 kgf以下
  • 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴使用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

应用设备实例

EFEM;PE-CVD设备;AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应MTCR4160-300-AM(胶膜框架搬运)
规格
被搬运物 200 mm ~ 300 mm 晶圆 (对应200~300 mm尺寸的胶膜框架)
(可对应其他尺寸)
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
315 mm 340度 300 mm
搬运速度* 360 mm/sec 140 度/sec 180 mm/sec
精度* 10.0 µm以下 0.0015度 1.96 µm
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V±10% 3 kVA
(手指) 正压: 0.5 MPa 10 NL/min 以上
质量 机械手臂体 大约50 kg

*测试机型:MTCR4160-300-AM(200~300 mm尺寸的胶膜框架)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。