产品展示
大气洁净机械手臂
JEL在日本国内生产的大气洁净机械手臂具有非常好的性价比优势，而且做工精良，性能稳定可靠，被广泛应用于半导体生产设备，LED生产设备以及液晶生产设备等。客户主要分布在日本，韩国以及中国台湾等地区。2013年JEL产品开始正式进入中国市场，并成功应用于中国知名半导体设备厂商所独立设计，生产的中国国产设备。
左图为JEL生产的大气洁净机械手臂在半导体芯片生产设备上的实际应用案例。大气机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室，或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。JEL公司可以根据客户需求定制满足客户要求的各种特殊机械手臂产品，比如可搬运重量较重的托盘的大气机械手臂，以及可用于清洗机设备的防水产品等等。
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5轴水平多关节型洁净机械手臂
GTFR5280（对应300mm晶圆的）
适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
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5轴水平多关节型洁净机械手臂
GTCR5000-AM（伺服电机规格）SERIES
拥有适应各种不同设备布局的优点，采用动力强劲的伺服电机，双手臂结构，晶圆搬运效率更高，可使用AC200伏电压
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4轴水平多关节型洁净机械手臂
JCR4400（带有对应PLP自动校准功能的机械手臂）
机械手臂可以高精度完成方形基板的校准和传片功能。可对应多片盒平行摆放的设备布局。
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3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
MCR3000CSERIES
使用了动力强劲的伺服电机，最高搬运速度是同类型使用步进电机驱动产品的1.5倍，可使用AC200伏电压
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4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
MTCR4000SERIES
双手臂结构，晶圆搬运效率更高，可使用AC200伏电压
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3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
SCR3000CSSERIES
最畅销产品，稳定性好，性价比高
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3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
SCR3000CSNSERIES
创新性地实现了步进电机的闭环控制并采用机械式绝对值编码器，免去了机械手臂每次开机时必须寻找原点以及定期更换电池的繁琐
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4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
STCR4000SSERIES
双手臂结构，晶圆搬运效率更高
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4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
STCR4000SNSERIES
使用了搭载机械式绝对值编码器的步进电机，采用了创新的闭环控制技术的新产品，双手臂结构，晶圆搬运效率更高
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搬运视频介绍
视频展示了各种形状，尺寸的工件。