产品展示
大气洁净机械手臂
3轴圆柱坐标型洁净机械手臂
SCR3000CSSERIES
超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运
特点
- 机械手臂标准臂长：100 mm，130 mm，160 mm，200 mm
- Z轴（升降轴）标准长度：200 mm，300 mm，400 mm，500 mm
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准3 kgf以下
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指
最畅销产品，稳定性好，性价比高
应用设备实例
EFEM，PE-CVD设备，AOI设备
演示展示机型
- 图片、视频为对应SCR3160CS-300-PM
规格
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） |
340 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 610 mm/sec | 340度/sec | 250 mm/sec |
| 搬运速度 (******速度)* | 1220 mm/sec | 500度/sec | 320 mm/sec |
| 精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
| 搬运高度* | 536mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 15A 真空：优于-53 kPa | ||
*测试机型：SCR3160CS-300-PM，使用JEL标准真空吸附式手指
搬运视频介绍
视频展示了各种形状，尺寸的工件。