产品展示
大气洁净机械手臂
4轴圆柱坐标型双臂洁净机械手臂
STCR4000SSERIES
超洁净无尘间用4轴圆柱坐标型洁净机械手臂STCR4000S系列
适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运,双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
特点
- 机械手臂标准臂长:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
- Z轴(升降轴)标准长度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
- 可搬运重量:手臂第3关节处基准3 kgf以下
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
- 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
- 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
- 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指
双手臂结构,晶圆搬运效率更高
应用设备实例
EFEM;PE-CVD设备;AOI设备
演示展示机型
- 图片、视频为对应STCR4160S-300-PM
规格
被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
---|---|---|---|
手臂 | 旋转 | 升降 | |
可动范围* (手臂第3关节中心基准) |
315 mm | 340度 | 300 mm |
搬运速度 (平均速度)* | 570 mm/sec | 220度/sec | 200 mm/sec |
搬运速度 (******速度)* | 1140 mm/sec | 270度/sec | 250 mm/sec |
精度* | 12.6µm以下 | 0.0045度 | 6.25 µm |
搬运高度* | 620 mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度) | ||
重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
厂务 | 电源:DC24V±10% 16A 真空:优于-53 kPa |
*测试机型:STCR4160S-300-PM,使用JEL标准真空吸附式手指
搬运视频介绍
视频展示了各种形状,尺寸的工件。