产品展示
倒片机系统
系统300片/h
SORTER SYSTEM4 FOUP的inline类型
特点
- 符合SEMI标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
- Aligner具有Buffer功能,能够实现晶圆的更换动作,提高了设备的Throughput
- 配备ID Reader,能够读取晶圆的ID信息(晶圆正反面对应为选配)
- 上述标准规格之外,以下规格的产品也可以定制
1. 4 FOUP对向摆放(Throughput为400片/h)
2. 4 FOUP的inline类型(Throughput为600片/h)
可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统,系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器
应用设备实例
半导体生产线
演示展示机型
- 图片、视频为对应SORTER SYSTEM
规格
对应片盒 | 300 mm FOUP(25片) |
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SEMI E47.1,E62标准品 | |
对应晶圆 | 300 mm 硅片(厚度775 µm) |
Throughput* | 300片/h |
洁净度 | ISO标准 Class 2(FFU使用) |
外形尺寸* | W1250xD2500xH1900 |
重量* | 大约 800 kg |
厂务 | 电源:AC200V±10% 2kVA |
干燥空气:0.5MPa±10% | |
真空:优于-53 kPa |
*测试机型:4个FOUP的inline类型(1台洁净机械手臂,1台横向移动装置)
搬运视频介绍
视频展示了各种形状,尺寸的工件。