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倒片机系统

系统400片/h

SORTER SYSTEM4 FOUP对向摆放

特点

    可实现最高400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器

  • 依据SEMI Standard标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • 校准器设有缓冲器功能, 使晶圆的更换成为可能, 实现了高吞吐量 (400片/h)
  • 搬运机械手采用路径规划方式, 无行走轴, 支持并列配置盒
  • 搬运机械手进行区域控制, 能够顺畅而快速地进行搬运
  • 配备ID阅读器, 可以进行晶圆的ID读取 (表里支持为选购件)

应用设备实例

半导体生产线

规格
对应片盒 300 mm FOUP（25片）
SEMI E47.1，E62标准品
对应晶圆 300 mm 硅片（厚度：775 µm）
Throughput* 400片/h
洁净度 ISO标准 Class 2（FFU使用）
外形尺寸* W1756xD1200xH1901
重量* 大约 600 kg
厂务 电源：AC200V±15% 20A
干燥空气：0.7 MPa to 0.4 MPa
真空：优于-60 kPa

*测试机型：4 FOUP对向摆放 400片/h

搬运视频介绍

视频展示了各种形状，尺寸的工件。