北京锐洁机器人科技有限公司

特点

可安全准确的搬运储片盒的的薄片。



• 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
• 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
• 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
• 可自动识别储片盒内晶圆的当前高度
• 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
• 搭载储片盒自动开盖机构（已申请专利）
• 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
• 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
• 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

应用设备实例

半导体工厂生产线

规格

可对应片盒的种类	200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
被搬运物	200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
洁净度	ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
外形尺寸	1100 (宽) x 980 (深) x 1805 (高)
厂务	电源：AC200V±10%  洁净气源：0.5 MPa 250 NL/min 以上
重量	600 kg

*我司可以针对客户对晶圆尺寸，储片盒数量，是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
  可对应多家厂商规格的储片盒。有关产品规格及产品相关详细信息请咨询我司销售人员。