产品展示
搬运视频介绍
不受晶圆材质校准器 (SAL3000HV系列 全自动对应版本)
特点
晶圆校准器不受晶圆材质 SAL3000HV 系列 (全自动对应版本) :
2016年12月14日之后出厂的Aligner SAL3000HV系列 产品都会配备具有全自动调整功能的JEL ALIGN TOOL软件。
JEL开发的晶圆校准工具软件可以帮助用户独立完成校准调整工作。
适用于2寸-300mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner。
可适用于硅片,带BG胶带(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准。
SAL3261HV(2寸~150mm晶圆)
SAL3481HV(100mm~200mm晶圆)
SAL38C2HV(200mm~300mm晶圆)