采用闭环位置控制

产品展示

在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2寸-300mm晶圆
传输的新型机械手臂。
采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式，有效地提高了
机械手臂的可靠性。

*能够适用于单臂运机械手臂：SCR3160CSN (采用闭环位置控制)（圆柱坐标单臂洁净机械手臂）