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大气洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

SCR3000CSSERIES

超洁净无尘间用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂SCR3000CS系列
适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

特点

    最畅销产品,稳定性好,性价比高

  • 机械手臂标准臂长:100 mm,130 mm,160 mm,200 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准3 kgf以下
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

EFEM,PE-CVD设备,AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应SCR3160CS-300-PM
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
340 mm 340度 300 mm
搬运速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 12.6µm以下 0.0045度 6.25 µm
搬运高度* 536mm (底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 15A  真空:优于-53 kPa

*测试机型:SCR3160CS-300-PM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。