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真空洁净机械手臂

  真空洁净机械手臂可以使用在高真空环境里,能够在真空环境下完成晶圆或者托盘等的传输。真空洁净机械手臂和大气洁净机械手臂不同的地方在于需要使用真空密封装置来实现运动机构的动力传输。真空密封装置主要有磁流体密封方式,真空电机方式以及特种橡胶圈密封方式等。这几种方式中,磁流体密封装置的应用最为广泛,同时也被广泛使用的特种橡胶圈密封装置具有价格便宜,便于维护的优点,而真空电机方式为高端的真空动力导入方式,具有洁净度高,放气量少的优点。
  JEL公司生产的真空洁机械手臂具有良好的性价比优势,做工精良,性能稳定可靠,被广泛应用于半导体,LED生产设备中的刻蚀设备,PVD设备以及CVD设备等。JEL产品的真空洁净机械手臂产品已经成功进入了中国大陆市场,获得了中国客户的一致认可。
  左图为JEL生产的真空洁净机械手臂在半导体芯片生产设备上的实际应用案例。真空洁净机械手臂位于真空腔室的中央,通过真空机械手臂自带的安装法兰和真空腔室对接。真空机械手臂的安装法兰和真空腔室之间一般使用氟橡胶O型圈来实现真空密封,特殊的情况也可以使用金属密封圈。金属密封圈适用于高温或者高真空环境,但是也会带来安装和维护方面的难度。

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。