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大气洁净机械手臂

  JEL在日本国内生产的大气洁净机械手臂具有非常好的性价比优势,而且做工精良,性能稳定可靠,被广泛应用于半导体生产设备,LED生产设备以及液晶生产设备等。客户主要分布在日本,韩国以及中国台湾等地区。2013年JEL产品开始正式进入中国市场,并成功应用于中国知名半导体设备厂商所独立设计,生产的中国国产设备,并获得了中国客户的一致认可。

  左图为JEL生产的大气洁净机械手臂在半导体芯片生产设备上的实际应用案例。大气机械手臂通过和Aligner配合可以完成从片盒传片到Loadlock腔室,或者从Loadlock腔室回收完成工艺流程的成品晶圆。JEL公司可以根据客户需求定制满足客户要求的各种特殊机械手臂产品,比如可搬运重量较重的托盘的大气机械手臂,以及可用于清洗机设备的防水产品等等。

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。