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大气洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

SCR3000CSNSERIES

3个新功能:
采用闭环位置控制
电机配备绝对值编码器
编码器不需要更换电池

特点

    对闭坏控制方式机械手臂加上疑似多轴规格。
    没有水平移动轴也能够搬运到并立配置的开闭安全门台,由于布局设计运用自如,降低成本。
    *加上揭载了搬运介绍动画疑似多轴规格

    创新性地实现了步进电机的闭环控制并采用机械式绝对值编码器,免去了机械手臂每次开机时必须寻找原点以及定期更换电池的繁琐
    适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂
    在保持高性价比和高速传输特性的基础上,解决了步进电机常见的丢步问题,适用于2寸-300 mm晶圆传输的新型单臂机械手臂

  • 采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式,有效地提高了机械手臂的可靠性
  • 电机配备绝对值编码器,机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置,缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位置原点的时间
  • 绝对值编码器为机械式,不需要更换电池
  • 可以和旧型号的本司产品兼容(安装尺寸,性能互换),方便客户对现有设备的升级改造
  • 高强度手臂・手臂第3关节处可承受3 kgf力(包含腕部机构模块,手指,晶圆的重量)
  • 机械手臂标准臂长:100 mm, 130 mm, 160 mm, 200 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:200 mm,300 mm,400 mm,500 mm
  • 可根据设备布局选择基座固定方式,或法兰固定方式
  • 可选伯努利方式手指(Option)

应用设备实例

EFEM,PE-CVD设备,AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应SCR3160CS-300-PM
规格
被搬运物 2, 3 寸, 100~300 mm 晶圆 (其他可根据特殊晶圆的形状,材质为客户提供灵活的定制设计)
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
340 mm 340度 300 mm
搬运速度 (平均速度)* 610 mm/sec 340度/sec 250 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 1220 mm/sec 500度/sec 320 mm/sec
精度* 10.0µm以下 0.00515度 2.0µm
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:DC24V±10% 10A  真空:优于-53 kPa

*测试机型:SCR3160CSN-300-CM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。