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大气洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型单臂洁净机械手臂

MCR3000CSERIES

超洁净无尘间用300 mm晶圆对应MCR3000C系列
适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运
全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性价比优势。

特点

    使用了动力强劲的伺服电机,最高搬运速度是同类型使用步进电机驱动产品的1.5倍,可使用AC200伏电压

  • 机械手臂标准臂长:160 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:300 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴使用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

EFEM;PE-CVD设备;AOI设备

规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
400 mm 340度 300 mm
搬运速度 (平均速度)* 1000 mm/sec 360度/sec 350 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 1800 mm/sec 580度/sec 530 mm/sec
精度* 9.82 µm以下 0.0015度 1.96µm
搬运高度* 639mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V±10% 3 kVA
真空:优于-53 kPa

*测试机型:MCR3160C-300-AM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。