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大气洁净机械手臂

5轴水平多关节型洁净机械手臂

GTCR5000-AMSERIES

可用于300 mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列(伺服电机规格)
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能
适用于300 mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

特点

    拥有适应各种不同设备布局的优点,采用动力强劲的伺服电机,双手臂结构,晶圆搬运效率更高,可使用AC200伏电压

  • 机械手臂标准臂长:210 mm,280 mm
  • 机械手臂可以单独对应2个FOUP(210 mm臂长)、或者3个FOUP(280 mm臂长)
  • Z轴(升降轴)标准长度:300 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下
  • 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • 通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
    能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

EFEM;AOI设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应GTCR5280-300-AM
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
553mm 335度 300 mm
搬运速度 (平均速度)* 833mm/sec 250度/sec 300 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 1400 mm/sec 350度/sec 450 mm/sec
精度* 0.0011度 0.0011度 1.96µm
搬运高度* 698mm(底座固定面到手指上的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 ISO标准 Class 2(驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V±10% 2 kVA
真空:优于-53 kPa

*测试机型:GTCR5280-300-AM,使用JEL标准真空吸附式手指

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。