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真空洁净机械手臂

3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂

SVCR3000SERIES

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列
适用于真空腔室内的晶圆搬运
相比SVHR系列机械手臂,可搬运重量提升2倍,具有较好的性价比优势
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性,方便客户对设备进行升级改造

特点

    畅销产品,稳定性好,性价比高,也可用于搬运托盘

  • 机械手臂标准臂长:160 mm,190 mm,260 mm,330 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:20 mm,40 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准2kgf以下(臂长160 mm,260 mm,330 mm)
                         手臂第3关节处基准3 kgf以下(臂长190 mm)
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封及波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配伺服电机规格
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

PE-CVD设备;刻蚀设备;高温PVD设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应SVCR3260-040-PM
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
520 mm 330度 40 mm
搬运速度 (平均速度)* 300 mm/sec 120度/sec 20 mm/sec
搬运速度 (最大速度)* 550 mm/sec 170度/sec 30 mm/sec
精度* 82 µm 0.009度 1.25 µm
搬运高度* 98 mm(法兰安装面到手指安装面的高度)
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置
耐真空度 1.33×10-6Pa
厂务 电源:DC24V±10% 8A

*测试机型:SVCR3260-040-PM(步进电机规格)(中具有代表性的标准品)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。