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液晶面板洁净机械手臂

4轴圆柱坐标型洁净机械手臂

LTHR4000SERIES

对应玻璃基板搬运的4轴圆柱坐标型洁净机械手臂LTHR4000系列
适用于液晶面板生产设备内部,检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式,能够有效地降低搬运高度

特点

    可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运,双手臂结构,玻璃基板搬运效率更高

  • 机械手臂标准臂长:400 mm,500 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:400 mm,500 mm,600 mm,760 mm,900 mm(Z轴超过760 mm以上为多段式,实物和照片的外观不同)
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm,500 mm)
  • 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运玻璃基板
  • 基板固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 手指可以安装多种传感器(校准,有无,Mapping等)
  • 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

应用设备实例

AOI设备;液晶工厂内生产线

规格
被搬运物* 730x920x1.1mm玻璃基板(具有代表性的标准尺寸)
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
875 mm 330度 600 mm
搬运速度 (平均速度)* 1375 mm/1.8sec 180度/1.8sec 600 mm/1.7sec
精度* 8.20µm以下 0.0008度 2.4 µm
搬运高度* 271mm(法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度)
重复性精度 ±0.2mm以内
洁净度 0.3µm/cf Class10(驱动结构内部独立排气的条件下)
厂务 电源:3相AC200V±10% 3kVA  真空:优于-73kPa

*测试机型:LTHR4400C-600-AM的标准型号 (被搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。