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传输平台系统

系统300片/h

SORTER SYSTEM4 FOUP的inline类型

特点

    可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统,系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器

  • 符合SEMI标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
  • Aligner具有Buffer功能,能够实现晶圆的更换动作,提高了设备的Throughput
  • 配备ID Reader,能够读取晶圆的ID信息(晶圆正反面对应为选配)
  • 上述标准规格之外,以下规格的产品也可以定制
        1. 4 FOUP对向摆放(Throughput为400片/h)
        2. 4 FOUP的inline类型(Throughput为600片/h)

应用设备实例

半导体生产线

演示展示机型
  • 图片、视频为对应SORTER SYSTEM
规格
对应片盒 300 mm FOUP(25片)
SEMI E47.1,E62标准品
对应晶圆 300 mm 硅片(厚度775 µm)
Throughput* 300片/h
洁净度 ISO标准 Class 2(FFU使用)
外形尺寸* W1250xD2500xH1900
重量* 大约 800 kg
厂务 电源:AC200V±10% 2kVA
干燥空气:0.5MPa±10%
真空:优于-53 kPa

*测试机型:4个FOUP的inline类型(1台洁净机械手臂,1台横向移动装置)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。