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手指,控制器等标准件

机械手指

伯努利机械手指(接触式)

针对存在翘曲的晶圆,以及减薄晶圆设计的具有高性价比特点的伯努利原理机械手指
可以配套JEL所有类型的大气搬运机械手臂使用

特点

    可用于6、8、12寸晶圆的非接触式End-Effector,非常适合减薄晶圆,广泛应用于半导体后道工序设备
    通过使用晶圆样品进行实际的验证传输测试,可以按照客户的需要,针对不同尺寸,翘曲量,晶圆厚度的任意形状的晶圆进行机械手指的定制设计

  • 利用伯努利原理的气流压力差吸附晶圆
  • 利用橡胶垫和晶圆之间的摩擦力,防止晶圆在传输过程中可能发生的位置偏移
  • 晶圆表面和机械手指的橡胶垫发生接触,能够同时对应不同规格的晶圆(※特殊情况的组合下,存在无法实现不同尺寸晶圆兼顾的情况),相对于非接触式机械手指,接触式机械手指的厚度可以做到更薄
  • 相对于真空吸附方式的手指,伯努利原理机械手指的吸附力会分散到整个晶圆表面,更适合用于减薄晶圆的传输

应用设备实例

半导体后道工序设备

演示展示机型
  • 图片、视频为对应伯努利机械手指(接触式)
规格
材质
表面处理 黑色表面阳极氧化
晶圆固定方式 旋风式真空吸盘提供吸力,橡胶垫(H-NBR)用于晶圆固定
(和晶圆表面接触部分的材质可以定制生产)
配套设施 30~80 L/min(随搬运物的尺寸,厚度变化)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。