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传输平台系统

储片盒内晶圆的自动搬运系统

SSY-11010

特点

    能够安全,准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。

  • 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
  • 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
  • 可自动区分晶圆和垫片(片间垫纸)
  • 可自动识别晶圆高度
  • 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
  • 采用能够从储片盒中准确取放晶圆的开口结构(专利申请中)
  • 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
  • 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

应用设备实例

半导体工厂生产线

演示展示机型
  • 照片和视频为 SSY-11010
规格
可对应片盒的种类 150 mm, 200 mm 储片盒, 150 mm, 200 mm 片盒
被搬运物 150 mm, 200 mm 硅晶圆, 150 mm, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
外形尺寸 1600 (宽) x 1180 (深) x 1800 (高)
厂务 电源:AC200V±10%  洁净气源:0.5 MPa 150 NL/min 以上
重量 600 kg

*我司可以针对客户对晶圆尺寸、储片盒数量、是否需要校准器等不同需求提供订制设计。
  有关产品规格等事宜敬请咨询我司。

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。