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真空洁净机械手臂

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

GTVCR5000SERIES

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列
能够适应于多种设备布局
通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积
简单小型化的真空腔体能够为客户节约加工成本
能够对应平行摆放的Stage(非常适合inline设备)

特点

    能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。

  • 机械手臂标准臂长:330 mm
  • Z轴(升降轴)标准长度:60 mm
  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准4kgf以下
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封:磁流体密封装置以及波纹管
  • 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
  • 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
  • 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
  • 可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

应用设备实例

高温PVD设备;刻蚀设备等

演示展示机型
  • 图片、视频为对应GTVCR5330-060-AM(*视频中的机械手臂使用了4片手指)
规格
被搬运物 〜300 mm晶圆
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(手臂第3关节中心基准)
635 mm 360度 60 mm
搬运速度 640 mm/1.0sec 180度/1.1sec 60 mm/1.0sec
精度 第1关节轴(J1轴)
第2关节轴(J2轴)
第3关节轴(J3轴)
第3关节轴(J5轴)
Z轴(J4轴)
0.00081度
0.00081度
0.00072度
0.00072度
0.98µm
重复性精度 ±0.1 mm以内
洁净度 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置
耐真空度 1×10-6Pa
厂务 电源:単相AC200~230V 2kVA 50/60Hz

*测试机型:GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的标准品 (搬运物体,以及手指形状的不同上述测量结果会不同)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。