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大气洁净机械手臂

4轴水平多关节型洁净机械手臂(搭载基板校准功能的机械手臂)

JCR4400

机械手臂可以高精度完成方形基板的校准和传片功能。
可对应多片盒平行摆放的设备布局。

特点

    能够高精度搬运Mask和Molded基板(FOPLP)的四轴水平多关节型洁净机械手臂(FOPLP=Fan-Out Panel Level Package工艺)。
    Molded方形基板可以在机械手臂的手指上完成校准,实现高精度传片功能。 可在手指上 同时对基板的Y方向和X方向进行校准,完成基板的中心校准功能。
    不再需要另行设置基板的中心校准机构,提高系统的传片效率。
    水平多关节机械手臂,不需要另外配置走形轴就可以对应基板偏移摆放布局。

  • 可搬运重量:手臂第3关节处基准15 kgf以下
  • Z轴(升降轴)标准长度:320 mm
  • 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

应用设备实例

AOI设备

演示展示机型

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规格
被搬运物 基板 500 mm x 517mm(5 kgf)
  手臂 旋转 升降
可动范围*
(被搬送物体中心到达距离)
1290 mm 335 度 320 mm
搬运速度* 1140 mm/1.6 sec 335 度/1.5 sec 320 mm/1.1 sec
精度* 第1关节轴 (J1轴) 第2关节轴 (J2轴) 第3关节轴 (J3轴)
3.15x10-7 1.78x10-7 2.14x10-7
第4关节轴 (J4轴)  
3.97x10-7  
重复性精度 ±0.2 mm以内
洁净度 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下)
厂务 电源:単相AC200V±10% 4.5 kVA
真空:优于-53 kPa
质量 机械手臂体 大约80 kg

*测试机型:JCR4400-320-AM(基板校准模块的机械手臂)

搬运视频介绍

视频展示了各种形状,尺寸的工件。