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搬运视频介绍

胶膜框架搬运

特点

MTCR4160 (晶圆固定方式：边缘夹持式):
   可用于片间距为4.76mm的胶膜框架盒中胶膜框架的取放。
   具有实时监测搬运过程中的框架的功能。
   可支持～300mm晶圆 (100mm～200mm用胶膜框架)。